化学气相沉积法制备大面积二硫化钼和硫化钼钨合金薄膜的工艺与性能研究

一、引言

1.1研究背景与意义

自2004年石墨烯被成功分离以来，二维材料凭借其独特的结构和优异的性能，在科研领域掀起了一股研究热潮。二维材料是指仅有一个或几个原子层厚的薄膜材料，这种特殊的原子级厚度赋予了它们许多区别于传统三维材料的特性。随着研究的深入，众多二维材料如氮化硼、二硫化钼等被相继发现和研究，它们在电子学、能源、催化等领域展现出了巨大的应用潜力。

二硫化钼（MoS_2）作为典型的二维过渡金属硫化物，具有独特的层状结构，每一层由一个钼原子层夹在两个硫原子层之间，层内原子通过强共价键结合，而层与层之间则依靠较弱的