高设备占用面积比ISO3级微电子洁净室气流组织的优化与创新研究

一、引言

1.1研究背景

在当今数字化时代，微电子产业作为现代科技的核心基石，其重要性不言而喻，从智能手机、电脑到汽车、工业控制等领域，微电子芯片无处不在，驱动着各种设备高效运行。随着科技的飞速发展，微电子产业正以前所未有的速度不断演进，芯片的集成度越来越高，尺寸越来越小，这对生产环境的要求也达到了近乎苛刻的程度。

微电子制造堪称人类科技领域中对精度要求最为苛刻的行业之一，芯片上的电路线宽如今已达到纳米级别。在如此微小的尺度下，任何一个细微的污染物都可能引发严重的问题。一个微小的尘埃颗粒，在普通环境中或许微不足道，但在微电子制造