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文件名称：超快激光微纳加工.pdf
文件大小：6.47 MB
总页数：28 页
更新时间：2025-08-24
总字数：约1.95万字
文档摘要
超快激光微纳加工
1目录
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第一部分超快激光微纳加工原理2
第二部分激光参数对加工质量的影响4
第三部分材料性质与加工特性的关系8
第部分非线性光学效应在微纳加工中的应用11
第五部分多光束加工策略及其优势16
第六部分三维微纳加工技术的研究进展18
第七部分超快激光微纳加工在光电子器件制造中的应用22
第八部分纳米尺度图案化在微电子