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文件名称:基于物理原理力学性能测试实验分析与总结.pdf
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总页数:7 页
更新时间:2025-08-24
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文档摘要

实验报告:高真空的获得和检漏84

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一、实验题目:

高真空的获得和检漏

二、实验目的:

学习用机械泵、扩散泵机组获得高真静态升压法和氦质谱法检漏,并

对比两种方法的特点。

三、实验原理:

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