基本信息
文件名称：2025《激光干涉仪测量原理分析概述》3300字.docx
文件大小：18.56 MB
总页数：7 页
更新时间：2025-08-24
总字数：约4.3千字
文档摘要
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激光干涉仪测量原理分析概述
目录
TOC\o1-3\h\u28161激光干涉仪测量原理分析概述 1
315361.1激光干涉仪组成部分 1
283511.1.1XL激光头 1
269961.1.2XC环境补偿单元 3
176941.1.3测量镜组 4
109951.1.4LaserXL校准软件系统 5
14953图2-9LaserXL校准软件系统 6
17551.2线性测量原理 6
143261.3角度测量原理 7
32011.4VMC850E加工中心主要技术指标