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文档摘要

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热压印成型技术的升温策略与等温工艺优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，微纳制造领域作为众多高新技术的基础，正不断推动着电子、光学、生物医学等多个关键领域的进步。在众多微纳制造技术中，热压印成型技术凭借其独特的优势，如高精度、低成本、可批量生产等，逐渐崭露头角，成为微纳制造领域的关键技术之一。

热压印成型技术的原理是利用模具将微纳结构复制到热塑性材料上，通过加热使材料软化，在压力作用下填充模具型腔，冷却后固化成型，从而实现微纳结构的精确复制。这一技术的出现，为微纳结构的制造提供了一种高效、经济的方法，在微机电系统（MEMS）、微光学元件、生物芯片等领域有着广泛的