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片上氮化硅微环腔的制备及孤子频梳的研究汇报人：日期:

CATALOGUE目录研究背景与意义氮化硅微环腔的制备方法孤子频梳的理论模型实验设计与测量结果与讨论结论与展望

研究背景与意义01CATALOGUE

片上氮化硅微环腔是一种重要的光子器件，具有高稳定性、低损耗、易于集成等优点，在高速光通信、光学传感、光学信号处理等领域具有广泛的应用前景。孤子频梳是一种基于非线性光学效应生成的光学频率梳，具有高相干性、高稳定性、宽带宽等优点，在光谱学、光学信号处理、光通信等领域具有重要的应用价值。研究背景

研究意义研究片上氮化硅微环腔的制备工艺和性能，提高其制备效率和稳定性，为光子器件的进一步发展提供新的思