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2025年半导体光刻光源在物联网芯片制造中的创新实践范文参考

一、2025年半导体光刻光源在物联网芯片制造中的创新实践

1.1物联网芯片制造对光刻光源的需求

1.2光刻光源的创新实践

二、物联网芯片制造对光刻光源的技术挑战

2.1光刻光源分辨率挑战

2.2光刻光源稳定性和重复性挑战

2.3光刻光源波长选择挑战

三、极紫外光（EUV）光刻技术在物联网芯片制造中的应用前景

3.1EUV光刻技术的优势

3.2EUV光刻技术的挑战

3.3EUV光刻技术在物联网芯片制造中的应用前景

四、深紫外光（DUV）光刻技术在物联网芯片制造中的应用现状