高速大行程宏微复合运动平台的多模态控制策略与精度提升研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代制造业和科学研究中，宏微复合运动平台凭借其独特的优势，在众多领域发挥着关键作用，已然成为实现高精度运动控制的核心部件。在半导体制造领域，随着芯片集成度的不断提高，对芯片制造设备的精度和速度要求愈发严苛。宏微复合运动平台能够满足光刻机、刻蚀机等设备在亚微米甚至纳米级别的定位精度需求，确保芯片制造过程中电路图案的精确转移和加工，为实现芯片的高性能和小型化提供了重要保障。在精密光学制造领域，如光学镜片的研磨、抛光以及光学元件的装配，宏微复合运动平台的高精度运动控制能力能够实现对光学元件的精密加工和定位，