铪基高k栅介质堆栈结构：设计、界面调控与MOS器件性能优化

一、引言

1.1研究背景与意义

自20世纪中叶集成电路诞生以来，其发展历程犹如一部波澜壮阔的科技史诗，深刻地改变了人类社会的面貌。在过去的几十年间，集成电路遵循着摩尔定律，以惊人的速度不断演进。摩尔定律指出，集成电路上可容纳的晶体管数目，约每隔18个月便会增加一倍，性能也将提升一倍。在这一规律的驱动下，集成电路集成度持续提高，器件尺寸不断缩小，为现代电子设备的小型化、高性能化奠定了坚实基础。从早期体积庞大、运算速度有限的计算机，到如今轻薄便携、功能强大的智能手机、平板电脑等移动设备，集成电路的飞速发展使得电子产品在性能大幅