基本信息
文件名称：T_CPSS 1018-2025 半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法.pdf
文件大小：13.1 MB
总页数：21 页
更新时间：2025-08-28
总字数：约1.82万字
文档摘要
ICS19.08
CCSK80
团体标准
半导体制造用等离子体工艺射频电源
动态阻抗测试方法
2025-08-22发布
中国电源学会发布
目次
前言…………………………Ⅱ
1范围……………………………1
2规范性引用文件…1
3术语和定义…………