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文档摘要

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ICS77.040

CCSH21

中华人民共和国国家标准

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GBT322782025

代替/—,/—

GBT308672014GBT322782015

碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法

Testmethodforthicknessandfltanessofmonocrstallinesiliconcarbidewafers

y

2025-08-01发布2026-02-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT322782025

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《》/—《

本文件代替GBT322782015碳化硅单晶片平整度测试方法和GBT308672014碳化硅单

》,/—,/—

晶片厚度和总厚度变化测试方法本文件以GBT322782015为主整合了GBT308672014的

,/—,,:

内容与GBT322782015相比除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

)(,/—);

更改了文件的适用范围见第章的第章

a1GBT3227820151

)/,“”();

增加了对中术语和定义的引用增加了碳化硅单晶片的术语和定义见第章

bGBT142643

)“”(/—);

删除了局部厚度变化的术语和定义见的

cGBT3227820153