中国国家标准 GB/T 30868-2025碳化硅单晶片微管密度测试方法.pdf

基本信息

文件名称：中国国家标准 GB/T 30868-2025碳化硅单晶片微管密度测试方法.pdf

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更新时间：2025-08-28

总字数：约5.51千字

文档摘要

ICS77.040

CCSH21

中华人民共和国国家标准

/—

GBT308682025

代替/—,/—

GBT308682014GBT313512014

碳化硅单晶片微管密度测试方法

Testmethodformicroiedensitofmonocrstallinesiliconcarbide

ppyy

2025-08-01发布2026-02-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT308682025

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《》/—

本文件代替碳化硅单晶片微管密度的测定化学腐蚀法和

GBT308682014GBT313512014

《》。/—,/—

碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法本文件以GBT308682014为主整合了GBT31351

。/—,,:

2014的内容与GBT308682014相比除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

)(,/—);

更改了范围见第章的第章

a1GBT3086820141

)(,/—);

更改了环境要求见第章的第章

b4GBT3086820148

)(、);

c增加了干扰因素见5.26.2

)(,/—);