ICS23.160

CCSJ78

中华人民共和国国家标准

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GBT40344.42025ISO21360-42018

真空技术真空泵性能测量标准方法

:

第部分涡轮分子泵

4

—

VacuumtechnoloStandardmethodsformeasurinvacuum-um

gygpp

—:

erformancePart4Turbomolecularvacuumums

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(:,)

ISO21360-42018IDT

2025-08-01发布2025-11-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT40344.42025ISO21360-42018

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号………………………3

5测试方法…………………3

5.1测试气体……………3

()……………

5.2体积流率抽速的测量3

5.3最大流量的测量……………………4

5.4临界前级压力的测量………………4

5.5压缩比测量…………………………5

5.6基础压力的测量……………………5

5.7振动测量……………5

6测试报告…………………5

6.1体积流率…………………