基本信息
文件名称：T_CASME 1953-2025 半导体设备用全氟醚橡胶密封制品.docx
文件大小：64.05 KB
总页数：9 页
更新时间：2025-08-28
总字数：约4.47千字
文档摘要
ICS83.140.50CCSG43
T/CASME1953—2025
半导体设备用全氟醚橡胶密封制品
Perfluoroetherrubbersealingproductsforsemiconductorequipment
2025-03-21发布2025-04-21实施
发布
发
布
Ⅰ
T/CASME1953—2025
目次
前言 Ⅲ
1范围 1
2规范性引用文件