氮化铝单晶抛光片标准立项报告：目的意义、范围与主要技术内容

EnglishTitle:ProjectReportonStandardizationofAluminumNitrideSingleCrystalPolishedWafers:Purpose,Significance,Scope,andTechnicalContent

摘要

氮化铝（AlN）单晶作为超宽禁带半导体材料的代表，在高温、高频、高功率电子器件和深紫外光电器件中展现出巨大的应用潜力。近年来，国家多项科技计划和重点项目均将其列为关键发展方向，包括“战略性先进电子材料”专项和“新型显示与战略性电