探究DMD无掩膜光刻技术及其在微透镜快速成型中的创新应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学和微纳制造领域，微透镜作为关键的光学元件，凭借其重量轻、体积小、集成度高、易于集成到各种微纳系统中等优势，在光学成像、光通信、传感器、生物医学检测、虚拟现实/增强现实（VR/AR）等众多前沿领域发挥着不可或缺的作用。在光通信中，微透镜用于光信号的耦合与传输，能够显著提高光信号的传输效率和稳定性，对于实现高速、大容量的光通信至关重要；在生物医学检测中，微透镜可用于细胞成像和生物分子检测，帮助科研人员更清晰地观察细胞结构和生物分子的活动，为疾病诊断和治疗提供重要依据。随着科技的飞速发展，各