基本信息

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文档摘要

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真空制程讲解

*1.1常用的真空制程

*1.2高科技真空制程

*1.3镀膜技术简介

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高温制程

*制程的特征

*高温制程不仅有高温而且制程亦常有气体产生，故抽大量的热气为其特征之一

*产生高温的方法及装置常用

*电阻加热，射频感应加热，电浆加热，电子加热，或雷射加热

*制程中所用的机件及衬垫等要用耐高温材料

*有些高温制程中亦可能产生固体粒子或飞灰，故应注意污染问题

*真空帮浦及辅助系统

*粗略至中度真空范围

*高真空范围

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电子束生物样品

*电子束（electronb