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文档摘要

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材料释气效应：MEMS真空封装腔内压强影响机制

研究

目录

1.内容综述 3

1.1研究背景与意义 3

1.2材料释放现象概述 5

1.3MEMS器件封装技术发展 6

1.4真空封装环境特殊性 7

1.5本研究目标与内容 8

2.相关理论与文献综述 9

2.1材料释气机理探讨 10

2.1.1物理吸附与解吸过程 11

2.1.2化学反应与副产物生成 12

2.1.3温度对释气特性的影响 13

2.2MEMS微腔封装技术分析 14

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