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光电探测器的测试与表征技术

在光电集成器件的设计和制造过程中，光电探测器的测试与表征是至关重要的环节。这一部分将详细介绍如何对光电探测器进行测试和表征，包括常用的测试方法、表征参数以及相应的实验步骤。通过这些内容，读者将能够掌握光电探测器性能评估的基本技术，为后续的仿真和优化提供基础数据。

1.测试方法概述

1.1光电探测器的基本测试方法

光电探测器的基本测试方法主要包括光响应度测试、暗电流测试、噪声测试、频率响应测试和温度特性测试。这些测试方法可以帮助我们全面了解光电探测器的性能参数。

1.1.1光响应度测试

光响应度（Responsivity）