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蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器设计与应用研

究

目录

蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器设计与应用研究(1) 4

一、文档概述 4

1.1研究背景 5

1.2研究意义 6

1.3研究内容与方法 7

二、相关技术概述 10

2.1微机电系统技术 10

2.2光学传感器技术 13

2.3光纤动态压力传感器原理 15

三、蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器设计 17

3.1传感器结构设计 18

3.1.1蓝宝石基材分析 19

3.1.2MEMS敏感元件设计