微电子工艺实验第十二章MOSFET成套工艺分析与应用

1.进一步熟悉集成电路制造原理和MOSFET的工艺流程；2.使用多功能实验基础平台和实验用半导体参数分析仪，完成MOSFET制作的成套工艺，并完成CMOS反相器的成套工艺。实验原理实验内容实验目的实验结果分析思考题和拓展实验

器件原理与双极型晶体管相比，场效应管具有如下特点。（1）场效应管是电压控制器件，通过Vgs(栅源电压)来控制Id（漏极电流）；（2）场效应管的控制输入端电流极小，因此输入电阻（107～1012Ω）很大。（3）利用多数载流子导电，因此温度稳定性较好；（4）组成的放大电路的电压放大系数要小于三极管组成放大电路的电