微电子工艺实验第一章工艺仿真实验基础及衬底特性分析

实验原理思考题和拓展实验实验内容实验目的1.掌握工艺仿真网格划分和网格稠密度原理与设置方法；2.掌握集成电路晶圆衬底的参数和设置方法；3.掌握单步工艺流程和设置方法；4.掌握工艺仿真常用功能的使用方法；5.理解不同衬底晶圆的晶向对生成氧化层厚度的影响。

实验内容实验原理实验目的工艺仿真的作用是分析工艺参数（比如氧化参数：氧化温度、氧化时间）对于工艺输出特性（比如：杂质掺杂浓度，电势分布）的影响。依托一系列物理模型和方程，实现对所有关键制造步骤，包括离子注入、扩散、刻蚀、淀积、光刻及氧化等环节的快速且精确的模拟。在此基础上，还能够