压电MIS结赋能纳米发电机：从基础原理到创新应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1压电MIS结的重要性

压电MIS（Metal-Insulator-Semiconductor，金属-绝缘体-半导体）结作为一种关键的电子结构，在现代电子器件领域占据着举足轻重的地位。其独特的结构与性能，使其在众多电子器件中发挥着不可或缺的作用，成为推动电子技术发展的核心要素之一。

在传感器领域，压电MIS结展现出了卓越的性能。例如在压力传感器中，当外界压力作用于压电MIS结时，压电材料会产生压电效应，导致内部电荷分布发生变化。这种电荷变化通过MIS结构的界面特性