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文档摘要

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ACF贴附机精密定位系统的多物理场耦合建模与优化

目录

TOC\o1-3\h\z\u一、ACF贴附机精密定位系统的工作原理与关键技术分析 3

1.ACF贴附机的核心结构与功能模块 3

机械传动系统的运动学与动力学特性 3

压电陶瓷驱动器的精密控制原理 4

2.精密定位系统的技术瓶颈与挑战 6

微米级重复定位精度的实现条件 6

多自由度运动平台的误差传递机制 7

二、多物理场耦合建模方法研究 9

1.力热电磁多场耦合建模理论框架 9

电磁场对定位精度的瞬态影响分析 9

温度场引致热应变的定量化表征 10

2.