2025至2030年中国光刻设备行业发展运行现状及投资潜力预测报告

目录

TOC\o1-3\h\z\u一、2025-2030年中国光刻设备行业发展现状分析 4

1.市场规模与增长趋势 4

年设备需求规模预测（按纳米制程划分） 4

国产替代驱动下的复合增长率及区域分布 7

2.行业竞争格局 9

国内外主要厂商（ASML、上海微电子等）市占率对比 9

核心零部件自主化率与关键技术突破进展 11

二、产业链深度解析及技术壁垒 13

1.上游供应链关键环节 13

光刻机核心部件（双工件台、光源系统）国产化瓶颈 13

高端光