微电子工艺实验第九章二极管成套工艺分析与应用

1.进一步熟悉半导体工艺的原理和二极管的工作机理；2.使用多功能实验基础平台和实验用半导体参数分析仪，完成二极管制作的成套工艺。实验原理实验内容实验目的实验结果分析思考题和拓展实验

实验目的实验内容实验原理实验结果分析思考题和拓展实验PN结是最基本的半导体器件结构之一。很多半导体器件由两个或多个PN结组合而成。最初在PN突变结附近存在着较大的电子和空穴的浓度梯度，因此N区的电子向P区扩散，P区的空穴向N区扩散，最终在结附近的N区留下了带正电的施主离子，P区内则留下了带负电的受主离子。PN结内的这两个带电区域被称为空间电荷区，在电场作用下，所有电