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微电子工艺实验第八章电阻成套分析与应用

1.进一步熟悉半导体工艺的原理和集成电阻的类型；2.使用多功能实验基础平台和实验用半导体参数分析仪，完成电阻制作的成套工艺。实验原理实验内容实验目的实验结果分析思考题和拓展实验

扩散电阻是通过杂质扩散形成的电阻，因制作方法不同，也可以分为阱电阻和P+/N+电阻。扩散电阻的阻值与扩散的杂质类型、掺杂浓度和扩散深度等有关。扩散电阻的工艺稳定性相对较差，容易受温度和阱电压、衬底电压的影响，从而呈现出非线性，并且其绝对数值也较难精确控制，匹配难度较大。离子注入电阻是通过离子注入工艺形成的电阻，可以通过改变离子注入的能量、剂量以及注入层的厚度等参数精确地控制电