基本信息
文件名称:《电子级四(甲乙氨基)锆》编制说明.docx
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总页数:21 页
更新时间:2025-09-05
总字数:约1.01万字
文档摘要

《电子级四(甲乙氨基)锆》

行业标准征求稿

编制说明

标准起草工作组

2025年08月

2

一、工作简况

1.任务来源

根据工信厅科函〔2024〕463号《工业和信息化部办公厅关于印发2024年第五批行业标准制修订和外文版项目计划的通知》的要求,《电子级四(甲乙氨基)锆被列入2024年国家标准编制计划,计划编号为.2024-1368T-SJ,由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口。由洛阳中硅高科技有限公司,硅基材料国家工程研究中心,中国电子技术标准化研究院负责制定。

2.主要起草单位和分工

洛阳中硅高科技有限公司,硅基材料国家工