基本信息
文件名称：场发射扫描电子显微镜技术参数及测量方法.docx
文件大小：440.33 KB
总页数：20 页
更新时间：2025-09-03
总字数：约6.83千字
文档摘要
ICS17.180.99
CCSN33
SJ
中华人民共和国电子行业标准
SJ/TXXXXX—XX2X
场发射扫描电子显微镜技术参数及测量方
法
Technicalrequirementsandtheirmeasurementsofthefieldemissionscanning
electronmicroscope
（征求意见稿）
2024-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
中华人民共和国工业和信息化部发