基于SOI的SOH电光调制器与阵列波导光栅AWG单片集成的关键技术与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今数字化信息时代，光通信技术作为信息传输的关键支撑，其发展日新月异。随着5G、物联网、云计算、大数据等新兴技术的迅猛崛起，数据流量呈现出爆炸式增长态势。例如，据相关统计，全球互联网数据流量在过去几年中以每年超过20%的速度递增，这对光通信系统的传输容量、速度和可靠性提出了极为严苛的要求。为了满足这些不断攀升的需求，光通信系统正朝着高速、大容量、小型化和集成化的方向大步迈进，集成光器件在其中扮演着愈发重要的角色，成为光通信领域研究的核心热点之一。

硅基光电子（SOI）技术凭借