基本信息

---

下载

文档摘要

---

光刻光源技术革新在2025年先进半导体制造中的关键作用

一、光刻光源技术革新在2025年先进半导体制造中的关键作用

1.光刻精度提升

2.光刻效率提升

3.光刻设备创新

4.光刻材料研发

5.光刻工艺优化

6.全球竞争促进

二、光刻光源技术的创新路径与挑战

1.创新路径

1.1波长精度提升

1.2光源稳定性增强

1.3输出功率提高

2.面临的挑战

2.1制造成本高

2.2寿命短

2.3集成度要求高

2.4环境保护与能源消耗

3.应对挑战的策略

3.1降低制造成本

3.2提高寿命

3.3提升集成度