《传感器与检测技术》教材配套课件国防科技大学传感与测试教学团队国家精品课程、国家精品资源共享课程配套教材

第四章传感器的加工工艺第一篇传感器与测试技术理论基础

引入

主要内容4.1结构型传感器的加工工艺4.2厚膜工艺4.3薄膜工艺4.4微机械加工工艺

4.1结构型传感器的加工工艺结构型传感器的加工工艺中，即使那些大批量生产的传感器，一般都包括人工调整环节。结构型传感器的加工工艺涉及面很广，形式非常丰富，几乎涉及各种传统和现代的加工技术。

4.2厚膜工艺厚膜工艺是一种集电子材料、多层布线技术、表面微组装及平面集成技术于一体的微电子技术。通常