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文档摘要

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微机电尺度效应课件;目录;尺度效应基础;微机电系统定义;;;尺度效应的物理原理;表面力与体积力比例;尺度变化对材料性能影响;尺度效应在微机电中的应用;微机电系统设计;设计原则与方法;尺度效应对设计的挑战;微机电系统设计案例分析;微机电制造技术;微细加工技术概述;尺度效应在制造中的影响;;微机电系统应用实例;微流控芯片技术;微型传感器与执行器;微机电系统在医疗中的应用;尺度效应的未来研究方向;尺度效应理论研究进展;微机电系统技术发展趋势;尺度效应在新兴领域的应用前景;谢谢