基本信息
文件名称：中芯光刻工艺.pdf
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总页数：84 页
更新时间：2025-09-08
总字数：约3.73万字
文档摘要
中芯国际硕士生课程
中芯国际硕士生课程
集成电路工艺
－光刻
2009-5-211
IC工艺流程
MaterialsICFab
Dielectric