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基于氮化硅平台的光纤激光二极管异构集成关键工艺

目录

TOC\o1-3\h\z\u一、氮化硅平台与光纤激光二极管异构集成概述 3

1、异构集成技术背景与发展趋势 3

氮化硅平台在光子集成中的优势与应用场景 3

光纤激光二极管异构集成的技术挑战与研究意义 4

2、关键工艺总体框架与流程设计 6

集成系统架构与功能模块划分 6

工艺路线选择与多维度协同优化策略 6

二、材料制备与界面处理关键技术 7

1、氮化硅薄膜生长与质量控制 7

低压化学气相沉积工艺参数优化 7

薄膜应力控制与厚度均匀性保障措施 9

2、光纤端面处