大规模集成电路制造中高可靠性MES系统的设计与实现研究

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1研究背景

随着信息技术的飞速发展，极大规模集成电路（VeryLargeScaleIntegration，VLSI）作为现代电子信息产业的核心基础，其制造技术水平已成为衡量一个国家科技实力和综合竞争力的重要标志。近年来，全球VLSI制造产业呈现出持续增长的态势。根据市场研究机构的数据，2023年全球集成电路产业销售额达到了[X]亿美元，预计到2028年将增长至[X]亿美元，年复合增长率约为[X]%。在国内，集成电路制造行业同样发展迅猛，2023年中国集成电路产业销售