基本信息
文件名称：蚀刻设备研发CPU项目可行性研究报告.docx
文件大小：45.04 KB
总页数：52 页
更新时间：2025-09-09
总字数：约2.9万字
文档摘要
项目总论
项目名称及建设性质
项目名称
蚀刻设备研发CPU项目
项目建设性质
该项目属于高新技术研发及产业化新建项目，主要从事蚀刻设备的研发以及基于该设备的CPU芯片制造技术开发与应用业务。
项目占地及用地指标
该项目规划总用地面积65000.50平方米（折合约97.50亩），建筑物基底占地面积42250.33平方米；项目规划总建筑面积84500.65平方米，绿化面积4225.03平方米，场区停车场和道路及场地硬化占地面积13650.13平方米；土地综合利用面积64125.50平方米，土地综合利用率98.65%。
项目建设地点
该“蚀刻设备研发CPU项目”计划选址位于江苏省苏州市工业园区。
项