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文档摘要

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高性能半导体材料测试技术关键技术研究报告范文参考

一、高性能半导体材料测试技术关键技术研究报告

1.1技术背景

1.2研究目的

1.3研究内容

1.4研究方法

二、高性能半导体材料测试技术现状分析

2.1高性能半导体材料概述

2.1.1单晶硅材料

2.1.2化合物半导体材料

2.1.3有机半导体材料

2.2高性能半导体材料测试技术方法

2.2.1传统的测试方法

2.2.2先进的测试方法

2.3高性能半导体材料测试技术发展趋势

三、新型高性能半导体材料测试方法研究

3.1新型测试方法概述

3.1.1光学测试方法

3.1.2原子力显微镜（AFM）

3.1.3扫描电子