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文档摘要

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微机电集成式光纤准直器自对准系统设计

目录

TOC\o1-3\h\z\u一、系统总体设计 3

1、设计目标与性能指标 3

高精度自对准要求 3

系统稳定性与可靠性指标 4

2、系统架构设计 5

执行器集成方案 5

光纤耦合光学路径设计 6

二、关键技术与实现方法 8

1、MEMS驱动与控制技术 8

静电驱动原理与参数优化 8

闭环反馈控制算法设计 9

2、光学对准检测技术 10

基于图像处理的定位方法 10

光功率监测与反馈机制 11

三、机械结构与封装设计 11

1、微结构集成方案 11