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光纤激光二极管单片集成芯片设计方法研究

目录

TOC\o1-3\h\z\u一、光纤激光二极管单片集成芯片设计基础理论 2

1、集成光学理论基础 2

光波导模式耦合理论 2

半导体激光物理模型 4

2、单片集成关键技术 5

材料体系选择与匹配 5

热管理与散热设计 6

二、单片集成芯片结构设计与优化 8

1、激光器单元设计 8

量子阱结构优化设计 8

谐振腔结构参数优化 9

2、光波导集成设计 10

波导耦合效率优化 10

模式匹配设计方法 11

三、制造工艺与集成技术研究 13

1、微纳加工