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文件名称:受半导体产业发展推动 高纯电子级硅溶胶市场规模持续扩大.doc
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更新时间:2025-09-10
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文档摘要
受半导体产业发展推动高纯电子级硅溶胶市场规模持续扩大
高纯电子级硅溶胶,是指纯度在99.999%及以上、直径为纳米级别的二氧化硅颗粒分散在液体介质中形成的胶体溶液,主要用来制备二氧化硅CMP浆料,应用在半导体产业中,实现晶圆化学机械抛光。
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普通硅溶胶为纳米二氧化硅分散在水或溶剂中,含有较多杂质(主要是金属离子),通常应用在传统工业中,例如涂料、载体、催化剂等。化学机械抛光(CMP)利用CMP浆料同时对晶圆表面进行化学腐蚀与机械摩擦来进行抛光,在二氧化硅CMP浆料中,以纳米级二氧化硅颗粒为研磨剂。为满足精密抛光需求,二氧化硅CMP浆料需要采用高纯电子级硅溶胶进行制备。
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高纯