基本信息
文件名称：模块化光刻讲座工程特征分析ENC-1.pdf
文件大小：460.92 KB
总页数：12 页
更新时间：2025-09-10
总字数：约2.99万字
文档摘要
ModularLithographyLectures,A.R.Neureuther,Sp2004Module:ENC-1Ver:02/05/04
EngineeringCharacterization(ENC)Modu
Purpose:Describehowprocesslatitudeisdetermined
andextendedthroughresolutionenhancement
*ENC-1:Exposure-FocusLatitude
ENC-2:Featuresize