基本信息
文件名称：LabXingLabXing扫描电子显微镜及能谱分析系统操作手册.pdf
文件大小：6.52 MB
总页数：39 页
更新时间：2025-09-10
总字数：约1.07万字
文档摘要
扫描电子显微镜（SEM）
及能谱(EDS)操作说明
(1)谢璐、姚会军2016.6.23编写
(2)程亚雄、程宏伟、姚会军2020.06.08修订
目录
一、目的及基本注意事项3
二、SEM操作流程4
三、EDS能谱分析25
四、常见问题及解决方法32
4.1能谱探头无法正常工作32
4.2能谱在出具报告时软件卡死33
4.3循环水机换水流程34
4.4更换循环水机泵头35