基本信息
文件名称：涂胶显影机光刻工艺及光刻胶测试卷附答案.docx
文件大小：8.48 KB
总页数：5 页
更新时间：2025-09-11
总字数：约1.25千字
文档摘要
涂胶显影机光刻工艺及光刻胶相关知识测试试卷
您的姓名：[填空题]*
_________________________________
工号：[填空题]*
_________________________________
Litho检测当层与前层对准是否符合要求是哪种检测方法（）[单选题]*
CD量测
OVL量测(正确答案)
ADI检测
YEscan
Develop站点显影液是用哪种材料冲洗（）[单选题]*
PGMEA
OK73
DIwater(正确答案)
NMP
PEB到PRdevelop之间是什么process[单选题]*
Cooling(正确答案)
Ha