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文档摘要

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影响薄膜纯度的因素1.蒸发源物质的纯度；2.加热装置、坩埚等可能造成的污染；3.真空系统中残留的气体，杂质气体分子与蒸发物质的原子分别射向衬底，并可能同时沉积在衬底上。3.3.1电阻式蒸发装置电阻加热方式是采用钨、钼、钽等高熔点金属做成适当形状的蒸发源，或采用石英坩埚等。根据蒸发材料的性质以及蒸发源材料的浸润性等制作成不同的蒸发源形状。电阻热蒸发设备的优缺点优点：1.设备成本低2.操作简单3.适于蒸发单质薄膜缺点：1.支撑物与蒸发物反应2.难于获得高温3.蒸发率低4.化合物蒸发时会分解溅射气体放