基本信息
文件名称：离子溅射仪（ETD-900C）用户手册.pdf
文件大小：364.29 KB
总页数：5 页
更新时间：2025-09-11
总字数：约2.74千字
文档摘要
ETD-900C型离子溅射仪使用说明书
目录
一、离子溅射仪的工作原理和组成
二、离子溅射仪的一般操作步骤
三、基本参数
四、经验分享
五、蒸发机箱示意图及说明
六、蒸发镀膜一般操作步骤
七、蒸发部件基本参数
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一.离子溅射仪的工作原理和组成（参考图1）
离子溅射仪的工作原理是在一个较低真空的腔体内，在负电极和正电极之间加载几百
伏特以上的电压，产生辉光放电，在电场的作用