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化合物半导体的外延生长设备项目发展计划

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化合物半导体的外延生长设备项目发展计划

目录

TOC\o1-9概论 4

一、建设规划分析 4

(一)、产品规划 4

(二)、建设规模 5

二、化合物半导体的外延生长设备项目概论 6

(一)、创新计划及化合物半导体的外延生长设备项目性质 6

(二)、主管单位与化合物半导体的外延生长设备项目执行方 7

(三)、战略协作伙伴 8

(四)、化合物半导体的外延生长设备项目提出背景和合理性 9

(五)、化合物半导体的外延生长设备项目选址和土地综合评估 10

(六)、土木工程建设目标 12

(七)、设备采