离子溅射仪操作规程

一、开机前的确认

1.机械泵的电源线已连接到仪器主机，并且机械泵开关处于‘开’的状态。

2.破真空气体已连接到主机后面板。

3.主机电源已连接。

二、开电源

1.打开气体钢瓶（氩气）总阀，并调节减压阀使输出气体压力至0.035-0.045Mpa（约4psi）。

2.打开主机后面的电源开关。

三、设置仪器工作参数

1.创建一条溅射镀膜程序。

2..当程序创建完后，该程序名称会显示在列表的底部。点击该程序名称之后选择可更改参数项，点击右