基本信息
文件名称：PowerIon 离子源 系列离子源 技术说明书.pdf
文件大小：2.6 MB
总页数：36 页
更新时间：2025-09-11
总字数：约1.25万字
文档摘要
离子源技术及其应用
离子源技术及其应用
杨会生博士
北京镨玛泰克真空科技有限公司
离子源技术及其在真空镀膜中的应用
离子源技术及其在真空镀膜中的应用
离子源是将中性原子离化成为离子，
离子被加速获得能量并引出的装置
离子源作为卫星太空姿态